Bu sürecin bir boşlukta yer almak zorundadır Işığın bu dalga boyları bile hava onları absorbe böylece kısa çünkü. Buna ek olarak, EUVL molibden ve silikon birden fazla tabaka ile kaplanmış konkav ve konveks aynalar kullanır - bu kaplama, 13,4 nanometre bir dalga boyunda ışık EUV yaklaşık yüzde 70'ini yansıtan olabilir. Diğer yüzde 30 ayna tarafından emilir. Kaplama olmadan, ışığı, hemen hemen tamamen çok ince bisküviyi ulaşmadan önce absorbe olacaktır. Ayna yüzeyleri neredeyse mükemmel olmak zorunda; kaplamalarda hatta küçük kusurları çip işlevi sorunlara yol, optik şeklini yok etmek ve baskılı devre desen bozabilir.
EUVL ve ilgili konular hakkında daha fazla bilgi için, bir sonraki sayfadaki bağlantıları kontrol edin.
