Nasıl EUVL Chipmaking Works

tografi programı yöneticisi dedi. " yapmamız gereken ilk şey 30 nanometre kadar entegre devreler yapmak ve EUV litografi bunu açıkça edecektir. " Buna karşılık, derin ultraviyole litografi oluşturulabilir küçük devresi 100 nanometre olduğunu.

2001 yılının Nisan ayında, EUV Limited Liability Company (EUV LLC) ilk tam ölçekli prototip EUV litografi makinesini tanıttı. EUV LLC dünyanın önde gelen yonga üreticileri ve üç ABD Enerji Bakanlığı araştırma laboratuarları bazı oluşan bir konsorsiyum. Üyeler Intel, AMD, IBM, Micron, Infeneon ve Motorola arasındadır. Bu şirketler Sandia Ulusal Laboratuvarları, Lawrence Livermore Ulusal Laboratuvarı ve Lawrence Berkeley Ulusal Laboratuvarı oluşan Sanal Ulusal Laboratuvarı, çalışıyoruz. Bu konsorsiyumun üyesi olmanın avantajı bu yeni teknolojiyi kullanan ilk öncelikli olduğunu

Şimdi EUVL nasıl çalıştığını görelim

İşte EUVL nasıl çalışır
EUVL Süreci
.:.

1. Bir lazer ksenon gazının bir jet yöneliktir. Lazer xenon gazı çarptığında, gaz yukarı ısıtır ve plazma oluşturulduktan sonra.
   
2. elektronlar bunun dışına gelmeye başlar plazma oluşturur ve onun için çok kısa 13 nanometre, ışık yayar at insan gözü görmek için.
   
3. ışığı maske üzerine yönlendirilir, böylece ışık toplar bir kondansatör, içine geçecek.
   
4. Bir bilgisayar çipi bir seviye bir temsili desenli bir Aynanın bazı bölgelerine değil, başkalarına bir emici uygulayarak bir ayna üzerine. Bu maske oluşturur.
   
5. maske desen görüntünün boyutunu azaltmak ve silikon yonga üzerine görüntü odaklanarak, dört ile altı kavisli aynalar bir dizi üzerine yansıtılır. Her ayna gofret üzerine transfer edilecek görüntü oluşturmak için biraz ışık büker. Bu sadece kamera viraj ışığında lensler filmde bir görüntü oluşturmak için nasıl gibidir.
   

   Sweeney'ye göre, tüm süreç dalga boyu dayanır. Eğer dalga boyu kısa yaparsanız, daha iyi bir görüntü olsun. O bir kamera ile bir hareketsiz fotoğrafı çektikten açısından düşünmek diyor
   

   ". Eğer bir şeyin fotoğrafı çekerken, resmin kalitesi şeylerin sürü " bağlıdır; dedi. " Ve bağlıdır ilk şey fotoğrafı yapmak için kullandığınız ışığın dalga boyudur. Dalga boyu kısa, daha iyi görüntü olabilir. Bu doğanın bir kanunu olduğunu ".
   

   2001 itibariyle, mikroçip 248 nanometre ışık ile yapılan derin ultraviyole litografi ile yapılmaktadır. Mayıs 2001 itibariyle, bazı üreticiler 193 nanometre ışık üzerinde geçiş vardır. EUVL ile, cip

   Page [1] [2] [3] [4]